2025년 5월 22일 상하이 기술거래소는 과학기술 성과 평가 기준 및 절차에 따라 관련 기술 분야 및 산업 전문가 5명으로 구성된 패널을 구성하여 고정밀 온도 및 유량 제어 냉각기 지능형 모니터링 시스템에 대한 현장 평가를 실시하였습니다. 상하이 KANSA 냉동 장비 주식회사가 개발했습니다.

 

기술 대화, 혁신 돌파구

KANSA 냉장 기술 팀은 특별 보고서 회의에서 "혁신 주도적이고 지능적인 권한 부여"를 주요 라인으로 하여 고정밀 온도 제어 장치의 과학적, 기술적 성과에 대한 핵심 가치를 체계적으로 제시했습니다.

 

01 업계 고충 돌파

반도체 제조 산업의 수요가 계속 증가함에 따라 온도 제어의 정확성과 신뢰성이 점점 더 엄격해지고 있습니다. 석판 및 식각과 같은 핵심 프로세스는 칩 품질 및 생산 비용에 직접적인 영향을 미치는 0.1°C의 온도 변동에 특히 민감합니다.

기존의 온도 제어 장비는 낮은 정밀도, 느린 응답 및 높은 에너지 소비와 같은 문제에 직면합니다. 반도체 제조의 고정밀 요건을 충족하고 정밀한 규제와 동적 최적화를 달성할 수 없다. 고급 온도 제어 장비는 수입에 의존하므로 비용이 많이 들고 위험합니다. 따라서 국내 고정밀 온도 제어 장치의 교체는 업계의 핵심 수요입니다.

 

02 독립적 혁신 돌파구

Monte Carlo 시뮬레이션 + 적응형 퍼지 PID 복합 제어 시스템을 기반으로 한 신뢰성 모델링 및 예측 유지 관리 시스템은 모든 작업 조건에서 0.05℃의 초정밀 온도 제어를 달성합니다.

 

03 프로젝트 진행

온도 제어 정확도는 모든 면에서 비교 가능한 제품을 능가하여 높은 동적 부하 시나리오에서 정밀 온도 제어 기술의 격차를 메우고 국제 고급 수준에 도달합니다.

 

04 시장 적용 전망

반도체, 바이오의약품, 실험실 정밀제조 등 고급 분야에 성공적으로 서비스를 제공했다.

 

 

보는 것은 믿는 것입니다, 하드코어 검증

이론적인 데이터는 실제로 테스트되어야 합니다! 그런 다음 전문가 검토 팀은 현장 견학을 위해 KANSA 냉장 스마트 공장을 방문했습니다.

 

01 핵심 장비

 

02 프로세스 제어

핀 콘덴서는 완전 자동 튜브 확장 기술을 채택했으며 열 교환 효율은 업계 표준의 1.2배입니다.

 

03 시스템 시연

우리 기술자들은 현장에서 고정밀 온도 제어 장치의 온도 제어 정확도를 시연했습니다. 목표 온도는 현장에서 26.00℃로 설정했으며 지능형 모니터링 화면은 26.03℃→26.01℃→26.00℃로 실시간으로 점프했습니다.

장비가 5분 동안 작동한 후에는 패널 디스플레이와 온도 곡선이 설정 값의 0.05℃ 범위 내에서 항상 안정적입니다.

 

 

전문 평가: 인정 및 결론

회의의 검토 단계에서 전문가 그룹은 다음과 같은 3차원에서 결론을 내렸습니다.

 

01 기술 혁신

고정밀 온도 및 유량 제어 냉각기 지능형 모니터링 시스템은 -40℃~110℃의 광범위한 온도 제어를 달성합니다.

 

02 기술 성숙도

고정밀 온도 제어 기술은 모든 작업 조건에서 0.05°C의 온도 제어 정확도를 달성하기 위해 개발되었습니다.

 

03 응용 프로그램의 장점

퍼지 제어의 유연성과 PID(1~30L/min)의 정확도를 결합한 고정밀 흐름 제어 방법이 개발되었습니다.

전문가위원회는 사업 결과의 전반적인 기술 수준이 국내 선도 및 국제 선진 수준에 도달했다고 보고 이 사업이 과학기술 성과 평가를 통과했다는 데 동의한다.